Робот Kawasaki TTS Серия

Высокоскоростные манипуляции как в верней, так и в нижней позиции обеспечиваются телескопическим механизмом роботов серии TTS, которые имеют невероятно плавный ход благодаря специально разработанному приводу. Серия роботов TTS полностью соответствует стандартам SEMI-F47 и SEMI-S2, также данный робот может получить доступ к 2 и 3 FOUP EFEM без трека.

Размеры и диапазоны движения

Характеристики:

Модель		Базовая комплектация		Дополнительные функции
		TTS10	TTS20
Тип		Горизонтальный шарнирный типа		-
Рука		Одна рука	Двурукий	-
Управляемые оси (степени свободы)		4	5	-
Угол поворота	θ1 axis (вращение・JT2）(°)	340		-
	Z axis (вверх-вниз・JT3)(мм)	740		-
	θ2 axis (врещение・JT4)(°)	340		-
	H1 axis (вращение・JT6)(°)	340		-
	H2 axis (вращение・JT7)(°)	-	340	-
Предельная досягаемость (мм)		1 066		-
Повторяемость (мм)*1		±0.1 (Центр диска )		-
Класс чистоты *2		ISO Class 1		-
Спецификация захвата*3		-	-	Концевой / Вакуумный захват
Контроллер		D60		Обучающий пульт
		Кабель (1-5м)*4		Пульт управления
ПО		Стандартное ПО для управления		KRET
		KMTerm		KR3D
		KSUtility Lite		KSUtility
Руководство по эксплуатации		Руководство по эксплуатации		-
		Руководство по командам связи		-
		Процедура внедрения интегрированного пакетного ПО (K-Fast)		-
Другое		-		Позиционер
		-		Датчик отображения

*1: Значение соответствует ISO9283 . 
*2: Измерения производились на нашем стерильном стенде . 
*3: Стандартная комплектация не включает в себя захват . 
*4: Возможна длина кабеля от 1 до 5 метров (1, 2, 2.5, 3, 3.5, 4, 4.5, and 5).